電子級(jí)氫氧化鉀純級(jí)分類(lèi)有哪些區(qū)別
氫氧化鉀化學(xué)式:KOH,又名苛性鉀、苛性堿、鉀灰。外觀為白色粉末狀固體,用途十分廣泛,多用于干燥、電鍍、化工原料。純品的氫氧化鉀為白色的斜方結(jié)晶,而工業(yè)品則多為白色或淡灰色的塊狀或棒狀固體。
電子級(jí)氫氧化鉀可分為UP—S級(jí)、UP級(jí)、EL級(jí)三類(lèi):
1、UP-S級(jí):適用0.35-0.8微米集成電路加工工藝,金屬雜質(zhì)含量小于1ppb,經(jīng)過(guò)0.05微米孔徑過(guò)濾器過(guò)濾,控制0.2微米粒子,在100級(jí)凈化環(huán)境中灌裝達(dá)到SEMI C8標(biāo)準(zhǔn)。
2、UP級(jí):適用1微米集成電路及TFT-LCD制造工藝,金屬雜質(zhì)含量小于10ppb,經(jīng)過(guò)0.2微米孔徑過(guò)濾器過(guò)濾,控制0.5微米粒子,在100級(jí)凈化環(huán)境中灌裝,達(dá)到SEMI C7標(biāo)準(zhǔn)
3、EL級(jí):金屬雜質(zhì)含量小于100ppb,控制1微米粒徑粒子,達(dá)到SEMI C1 C2標(biāo)準(zhǔn),適合中小規(guī)模集成電路及電子元件加工工藝。
電子級(jí)氫氧化鉀純度要求十分高,主要應(yīng)用于制備電子設(shè)備,尤其是近年來(lái)微小化電子設(shè)備的發(fā)展,對(duì)電子級(jí)試劑的應(yīng)用就顯得尤為重要。
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